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| 28mA,10mW带相位调整功能的DFB激光器 | |
| 摘 要： | 日本富士通研用分段改变隐埋条宽的方法,制作出GaInAsP/InP带相位调整功能的DFB激光器。DFB(分布反馈型)激光器是长距离大容量光传输系统用有希望的光源。最近,这种激光器的阈值进一步降低,并采用了相位调整技术。器件制作,先进行第一次生长,在刻有衍射光栅的n型InP衬底上生长n型GaInAsP波导层(0.13μm厚)、GaInAsP有源层(0.15μm)。接着把生长衬底腐蚀成台面条型,这时为了限制电流,采用了InP的pn结。另外,为了防止由于条宽的急剧变化而引起的异常生长,设置了5μm的锥形区。这样,进行第二次隐埋生 |
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