| PbTiO3铁电薄膜晶化工艺研究 |
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| 引用本文： | 姜斌,齐增亮,耿永涛,蒋书文,李言荣.PbTiO3铁电薄膜晶化工艺研究[J].功能材料,2007,38(3):354-355,358. |
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| 作者姓名： | 姜斌 齐增亮 耿永涛 蒋书文 李言荣 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 对sol-gel法制备的PbTiO3薄膜采用不同晶化工艺进行晶化,研究了晶化温度和基片对薄膜晶化的影响.研究表明,采用快速晶化工艺时,在550～750℃的较宽温度范围内,薄膜能够结晶形成稳定钙铁矿相结构,在LaAlO3基片上能获得结晶良好、具有(001)择优取向的PbTiO3薄膜.与常规晶化相比,快速晶化处理的薄膜结晶质量好,晶粒较小、分布均匀致密.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 快速晶化 PbTiO3 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）03-0354-02 |
| 修稿时间： | 2006-09-052006-12-18 |
Study on annealing method of PbTiO3 ferroelectric thin films |
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| JIANG Bin,QI Zeng-liang,GENG Yong-tao,JIANG Shu-wen,LI Yanrong.Study on annealing method of PbTiO3 ferroelectric thin films[J].Journal of Functional Materials,2007,38(3):354-355,358. |
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| Authors: | JIANG Bin QI Zeng-liang GENG Yong-tao JIANG Shu-wen LI Yanrong |
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| Affiliation: | State Key Lab. of Electronic Thin Film and Integrated Device, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferroelectrie thin film rapid thermal annealing PbTiO3 |
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