| 基于面板工艺的数字微流控芯片 .txt |
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| 引用本文： | 林柏全,秦锋,贾振宇,席克瑞,彭旭辉 .txt.基于面板工艺的数字微流控芯片 .txt[J].仪器仪表学报,2020,41(3):159-166. |
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| 作者姓名： | 林柏全 秦锋 贾振宇 席克瑞 彭旭辉 .txt |
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| 作者单位： | （1上海天马微电子有限公司上海201201； 2上海中航光电子有限公司上海201108） .txt |
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| 摘 要： | 摘要：针对传统数字微流控芯片电极数量少和制造成本高的问题，对基于面板工艺的数字微流控芯片进行了设计、制备和验证。引入现有成熟的液晶面板设计与制造技术，在玻璃基板上完成金属、绝缘层、有机膜、ITO等膜层的图形化加工。结合常规半导体旋涂工艺，完成疏水层的制备。实验成功地制备出一种集成有480个电极的单基板数字微流控芯片样品。通过合理的驱动电极排布与驱动信号时序设计，实现了低成本化的微流控芯片的设计与制造。对于所设计的微流控芯片进行了功能验证，实现了液滴的连续移动，最低驱动电压可达到25 V，可驱动液滴的体积范围为8～50 μL。还通过系统化的实验对芯片的有效工作条件进行了验证。 .txt
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| 关 键 词： | 关键词： 数字微流控 电极设计 面板制造 液滴驱动 .txt |
Digital microfluidic chip based on panel process .txt |
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| Lin Baiquan,Qin Feng,Jia Zhenyu,Xi Kerui,Peng Xuhui .txt.Digital microfluidic chip based on panel process .txt[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2020,41(3):159-166. |
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| Authors: | Lin Baiquan Qin Feng Jia Zhenyu Xi Kerui Peng Xuhui txt |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Keywords:digital microfluidic electrode design panel manufacturing droplet drive txt |
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