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| 透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 | |
| 引用本文： | 陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超.透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究[J].材料保护,2005,38(7):5-7. |
| 作者姓名： | 陆峰 徐成海 闻立时 曹洪涛 裴志亮 孙超 |
| 作者单位： | 1. 沈阳建筑大学交通与机械工程学院,辽宁,沈阳,110168;东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004 2. 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004 3. 中国科学院金属研究所,辽宁,沈阳,110015 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 东北大学校科研和教改项目 |
| 摘 要： | 为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测试分析.结果表明:所制备的ZAO薄膜具有典型的ZnO晶体结构;沉积在玻璃基片上的ZAO薄膜,Al,O含量高于沉积在透明聚酯塑料基片上的,而Zn的含量则相反;在两种衬底上获得的ZAO薄膜电阻率分别为4.5×10-4Ω*cm和9.73×10-4Ω*cm,可见光透射率分别达到87.7%和81.5%.由此可见:用直流反应磁控溅射法在不同衬底上都能获得可见光透射率达到80%以上的ZAO薄膜;相比而言,在玻璃衬底上获得的ZAO薄膜电阻率低,而在透明聚酯塑料上沉积的ZAO薄膜透射性好. |
| 关 键 词： | ZAO薄膜 衬底 直流磁控溅射 性能 XRD衍射分析 电阻率 透射率 透明导电薄膜 不同衬底 性能 研究 Transparent Performance Comparison Substrates Plastic Organic Glass Films 射性 聚酯塑料 玻璃衬底 直流反应磁控溅射法 可见光透射率 薄膜电阻率 塑料基片 含量 |
| 文章编号： | 1001-1560(2005)07-0005-03 |
| 修稿时间： | 2005年3月2日 |
Comparison of Performance of Transparent Conducting ZnO:Al(ZAO) Thin Films on Transparent Glass and Organic Plastic Substrates |
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| LU Feng,XU Cheng-hai,WEN Li-shi,CAO hong-tao,PEI Zhi-liang,SUN Chao.Comparison of Performance of Transparent Conducting ZnO:Al(ZAO) Thin Films on Transparent Glass and Organic Plastic Substrates[J].Journal of Materials Protection,2005,38(7):5-7. | |
| Authors: | LU Feng XU Cheng-hai WEN Li-shi CAO hong-tao PEI Zhi-liang SUN Chao |
| Abstract: | |
| Keywords: | ZAO film substrate direct current magnetron reaction sputtering performance XRD analysis resistivity transmissivity |
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