| 基于声表面波形状记忆合金微阀研究 |
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| 引用本文： | 李向莉,钱显毅.基于声表面波形状记忆合金微阀研究[J].压电与声光,2017,39(1):153-156. |
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| 作者姓名： | 李向莉 钱显毅 |
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| 作者单位： | （1.苏州信息职业技术学院 通信与信息工程系，江苏 苏州 215200;2.常州工学院 电气与光电子工程学院， 江苏 常州 213002） |
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| 基金项目： | 常州工学院科研基金资助项目(YN1404);江苏省创新基金资助项目(201511055039X) |
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| 摘 要： | 研制了一种声表面波控制的形状记忆合金微阀。在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热压电基片上石蜡油,使弯曲的形状记忆合金线伸展,促使与其连接的聚二甲基硅氧烷微通道壁发生形变,截止微通道,实现微阀从开态向关态转变。撤除电信号,形状记忆合金线温度下降,恢复软性,在硬质塑料薄片的恢复力作用下,微阀重新由关态转为开态。以流体输运为实验对象进行微阀开关实验,结果表明,声表面波可有效控制形状记忆合金微阀的开关操作,在28.5dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为40.4s。
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| 关 键 词： | 微阀 形状记忆合金 声表面波 微通道 微流器件 |
Study on A Shape Memory Alloy Micro valve Based on Surface Acoustic Wave |
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| LI Xiangli,QIAN Xianyi.Study on A Shape Memory Alloy Micro valve Based on Surface Acoustic Wave[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2017,39(1):153-156. |
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| Authors: | LI Xiangli QIAN Xianyi |
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| Affiliation: | (1. Dept. of Communication and Information Engineering,Suzhou College of Information Technology,Suzhou 215200,China;
2.School of Electrical and Photo electronic Engineering,Changzhou Institute of Technology,Changzhou 213002,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microvalve shape memory alloy surface acoustic wave microchannel microfluidic device |
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