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| 线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写 | |
| 引用本文： | 魏国军,徐兵,陈林森.线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写[J].光电子技术与信息,2004,17(6):72-75. |
| 作者姓名： | 魏国军 徐兵 陈林森 |
| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 |
| 摘 要： | 在双光束激光直写系统中，衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的．本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写，利用一种改进的矢量文件格式，使平台沿着垂直光栅线的方向运动，获得连续的多光点同时直写，直写后的衍射光栅线是连续的，系统的运行效率是逐点光刻的几十倍．编写了与DXF文件的接口直写控制程序，给出了实验结果． |
| 关 键 词： | 激光直写 双光束干涉 DXF文件 矢量文件 衍射光变图像 |
| 文章编号： | 1006-1231(2004)06-0072-04 |
| 修稿时间： | 2003年11月17 |
Vectorized Laser Direct Writing of DOVID's with Line-grating Scanning |
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