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| 高精度平面绝对标定 | |
| 引用本文： | 苗二龙,苏东奇,彭石军.高精度平面绝对标定[J].激光与光电子学进展,2014,51(5):51203-120. |
| 作者姓名： | 苗二龙 苏东奇 彭石军 |
| 作者单位： | 苗二龙:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 苏东奇:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 彭石军:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项(2009ZX02205-004) |
| 摘 要： | 在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的power项进行绝对标定。而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定,但是液面易受环境影响,重复性难以提高,因此标定精度往往不高。针对这一难题,利用Fizeau干涉仪,采用液面方法对平面的power项单独进行绝对标定,结合旋转平移绝对标定方法对平面其他Zernike项进行标定,从而得到了完整的高精度的平面绝对标定。不仅提高了检测精度,也对平面进行了完整的高精度标定,大大提高了干涉仪的检测精度。 |
| 关 键 词： | 测量 面形检测 绝对标定 液面 旋转平移绝对标定 |
| 收稿时间： | 2013/12/19 |
High Precise Absolute Flat Calibration |
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| Miao Erlong;Su Dongqi;Peng Shijun.High Precise Absolute Flat Calibration[J].Laser & Optoelectronics Progress,2014,51(5):51203-120. | |
| Authors: | Miao Erlong;Su Dongqi;Peng Shijun |
| Affiliation: | Miao Erlong;Su Dongqi;Peng Shijun;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences; |
| Abstract: | |
| Keywords: | measurement surface figure testing absolute calibration liquid surface rotation and shifting absolute calibration |
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