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| 文摘 | |
| 引用本文： | 吴秀丽.文摘[J].光机电信息,2000,17(9). |
| 作者姓名： | 吴秀丽 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | SOI——突破硅材料与硅集成电路限制的新技术与体硅材料和器件相比,SOI具有许多独特的优越性,例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩锁效应等,因而被称为21世纪的微电子技术而引起人们越来越多的关注.SOI技术正走向商业应用阶段,特别是应用于低压、低功耗CMOS电路,抗辐照器件和高温电子器件等.结合第9届SOI工艺和器件国际会议的内容,综述了SOI材料和器件的最新进展.(NO.8)国内X射线光刻技术研究进展 |
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