用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析简

引用本文：	许高斌,杨业汕,马渊明,陈兴.用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析简[J].微纳电子技术,2014(2):89-93.

作者姓名：	许高斌杨业汕马渊明陈兴

摘要：
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