| 氯硅烷残液中六氯二硅烷回收工艺的模拟与优化 |
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| 引用本文： | 黄国强,杨劲,孙帅帅.氯硅烷残液中六氯二硅烷回收工艺的模拟与优化[J].化工进展,2013(9):2258-2262,2266. |
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| 作者姓名： | 黄国强 杨劲 孙帅帅 |
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| 作者单位： | 天津大学化工学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 多晶硅残液中的六氯二硅烷具有高附加值,国外已开展相关研究,而国内这方面研究仍处于空白阶段。对此,本文提出了一种从多晶硅氯硅烷残液回收六氯二硅烷的新工艺。工艺通过采用过滤器与五精馏塔耦合完成残液回收,利用Aspen Plus软件对工艺进行了模拟计算,结果表明,本工艺能够有效回收六氯二硅烷,纯度(质量分数)可达99.8%。使用灵敏度分析考察了回流比、进料位置、采出量等对分离效果的影响,确定了最优工艺操作参数。最后评价了工艺的整体经济效应,结果表明本工艺存在很大的潜在效益。
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| 关 键 词： | 多晶硅 氯硅烷残液 六氯二硅烷 残液回收 |
Simulation and optimization of a process of recycling hexachlorodisilane from chlorosilane residue |
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| HUANG Guoqiang
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YANG Jin
,
SUN Shuaishuai.Simulation and optimization of a process of recycling hexachlorodisilane from chlorosilane residue[J].Chemical Industry and Engineering Progress,2013(9):2258-2262,2266. |
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| Authors: | HUANG Guoqiang YANG Jin SUN Shuaishuai |
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| Affiliation: | (School of Chemical Engineering and Technology,Tianjin University,Tianjin 300072,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polysilicon chlorosilane residue hexachlorodisilane waste recycling |
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