| 微悬梁式汽油传感器研究 |
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| 引用本文： | 张洪泉,乔英杰,汪洋,范茂军.微悬梁式汽油传感器研究[J].传感器与微系统,2010,29(6). |
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| 作者姓名： | 张洪泉 乔英杰 汪洋 范茂军 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工程大学材料与化工工程学院;中国电子科技集团公司第四十九研究所; |
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| 基金项目： | 国家"863"计划资助项目，国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底.采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt-Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器.测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0-15)×10-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性.同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究.
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| 关 键 词： | 微悬梁 Al2O3模板 催化 汽油传感器 |
Study on the micro-cantilever type gasoline sensor |
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| ZHANG Hong-quan,QIAO Ying-jie,WANG Yang,FAN Mao-jun.Study on the micro-cantilever type gasoline sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(6). |
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| Authors: | ZHANG Hong-quan QIAO Ying-jie WANG Yang FAN Mao-jun |
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| Affiliation: | ZHANG Hong-quan1,2,QIAO Ying-jie1,WANG Yang2,FAN Mao-jun2 (1.Harbin Engineering University,Harbin 150001,China 2.The 49th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation Harbin 150001,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-cantilever alumina template catalysis gasoline sensor |
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