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| SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学 | |
| 引用本文： | 姚光辉,韩杰,袁渭康.SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学[J].华东理工大学学报(自然科学版),1990(3). |
| 作者姓名： | 姚光辉 韩杰 袁渭康 |
| 作者单位： | 华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室 (姚光辉，韩杰)，华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(袁渭康) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,编号 2870342 |
| 摘 要： | 利用化学气相淀积方法,在载玻片上淀积二氧化锡薄膜,研究了过程的动力学特征,考察了不同操作参数对淀积速率的影响。建立了淀积速率与反应气体分压的关系式,并初步提出了淀积过程的反应原理。 |
| 关 键 词： | 化学气相淀积 二氧化锡 薄膜 动力学 |
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