| 常压固相烧结法制备ZAO靶材及其性能的研究 |
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| 引用本文： | 刘心宇,李海麒,江民红.常压固相烧结法制备ZAO靶材及其性能的研究[J].湖南科技大学学报(自然科学版),2008,23(1):27-30. |
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| 作者姓名： | 刘心宇 李海麒 江民红 |
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| 作者单位： | 桂林电子科技大学,信息材料科学与工程系,广西,桂林,541004;广西信息材料重点实验室,广西,桂林,541004 |
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| 基金项目： | 广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014) |
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| 摘 要： | 采用常压固相烧结法,通过优化烧结工艺,制备出平整、组织均匀、致密的ZAO靶材.研究了掺杂含量、烧结温度对陶瓷靶材微观结构和性能的影响,并使用自制靶材,采用射频磁控溅射法镀膜.结果表明:Al2O3的掺杂没有破坏ZnO晶体结构,Al原子对Zn原子进行有效替位;晶粒尺寸随着掺杂量的增多而减小;靶材的电阻率随掺杂量的增加呈U型变化,在3wt%时取得最小值4.2×10-2Ω.cm;靶材致密度超过96%.使用该靶材生长的多晶ZAO薄膜具有(002)择优取向,结晶均匀,呈柱状生长,薄膜电阻率和可见光平均透射率可分别达到8×10-4Ω.cm～9×10-4Ω.cm和85%.图9,表1,参14.
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| 关 键 词： | ZAO薄膜 陶瓷靶材 微观结构 |
| 文章编号： | 1672-9102(2008)01-0027-04 |
| 修稿时间： | 2007年12月20 |
Preparation and Properties of ZAO Ceramic Targets by Conventional Solid-state Reaction Method |
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| LIU Xin-yu,LI Ha-qi,JIANG Ming-hong.Preparation and Properties of ZAO Ceramic Targets by Conventional Solid-state Reaction Method[J].Journal of Hunan University of Science & Technology(Natural Science Editon),2008,23(1):27-30. |
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| Authors: | LIU Xin-yu LI Ha-qi JIANG Ming-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZAO thin films ceramic targets microstructure |
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