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| 用于大尺度团簇交叉碰撞实验的差分抽气系统的设计与真空监测 | |
| 引用本文： | 方才进,缪竞威,师勉功,朱洲森.用于大尺度团簇交叉碰撞实验的差分抽气系统的设计与真空监测[J].真空,2014(3). |
| 作者姓名： | 方才进 缪竞威 师勉功 朱洲森 |
| 作者单位： | 四川师范大学物理与电子工程学院;四川大学原子核科学技术研究所; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(11125175) |
| 摘 要： | 本研究是给大尺度团簇与微团簇交叉碰撞实验提供一套性能稳定、真空度高的差分抽气系统。介绍了差分抽气系统的整体结构、真空泵以及真空测量与自动记录系统的性能。实验测试了差分抽气系统达到稳定真空的时间等参量,分析了第二级差分抽气区真空值异动的原因。用脉冲喷射的实验方法,测试了差分抽气系统工作性能及指标,并对装置可以改进的方面做了一些探讨。 |
| 关 键 词： | 脉冲喷射团簇源 差分抽气系统 ZDF型复合真空测量体系 真空监测 |
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