| 热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研究 |
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| 引用本文： | 荣延栋,阴生毅,胡跃辉,吴越颖,朱秀红,周怀恩,张文理,邓金祥,陈光华.热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研究[J].功能材料,2004,35(Z1):3181-3183. |
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| 作者姓名： | 荣延栋 阴生毅 胡跃辉 吴越颖 朱秀红 周怀恩 张文理 邓金祥 陈光华 |
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| 作者单位： | 北京工业大学,新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划973资助项目(G2000028201-1) |
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| 摘 要： | 采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-SiH薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出在热丝辅助MWECR-CVD系统制备非晶硅薄膜过程中,热丝的光照对薄膜的抗衰退起到了关键作用,用该系统制备非晶硅薄膜,大大降低了薄膜中的总氢含量,提高了薄膜的稳定性,同时,Si-H键合体的摇摆模发生了红移.
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| 关 键 词： | 非晶硅 红外 光致衰退 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-3181-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月20日 |
Ivestigation of infrared spectra and light-induced degradation of the a-Si:H film synthesized by ECR-CVD assisted hot-wire |
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| RONG Yan-dong,YIN Sheng-yi,HU Yue-hui,WU Yue-ying,ZHU Xiu-hong,ZHOU Huai-en,ZHANG Wen-li,DENG Jin-xiang,CHEN Guang-hua.Ivestigation of infrared spectra and light-induced degradation of the a-Si:H film synthesized by ECR-CVD assisted hot-wire[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1):3181-3183. |
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| Authors: | RONG Yan-dong YIN Sheng-yi HU Yue-hui WU Yue-ying ZHU Xiu-hong ZHOU Huai-en ZHANG Wen-li DENG Jin-xiang CHEN Guang-hua |
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