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| 用样条插值算法实现集成块引脚的高精度检测 | |
| 引用本文： | 乔辉,杨勇,方志良,刘福来,母国光.用样条插值算法实现集成块引脚的高精度检测[J].仪器仪表学报,2002,23(Z3):1-3. |
| 作者姓名： | 乔辉 杨勇 方志良 刘福来 母国光 |
| 作者单位： | 南开大学现代光学研究所,天津,300071 |
| 基金项目： | 天津市光电子联合研究中心资金资助项目. |
| 摘 要： | 灰度图像边缘检测的精度受到CCD摄像机的采样频率的限制,且CCD为一衍射受限系统,灰度图像的边缘变得模糊.因此,亚像素精度的算法在高精度的边缘检测中受到重视.在此,首先对样条插值法和最小二乘法进行比较和分析,得出了用样条插值法进行边缘检测的合理性.将该算法应用于集成块引脚的边缘检测,实验表明,该算法的重复性很好,分辨率可以达到四十分之一个像素,能够达到工业检测的标准. |
| 关 键 词： | 样条插值法 集成块引脚 CCD亚像素 最小二乘法 |
Improving Precision of IC Chip Measurement Based on Spline Interpolation |
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