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| 高精度动态光电显微镜 | |
| 引用本文： | 方毓文,魏和荣,王高钟,李仿燕,刘祥文,梁炳沛.高精度动态光电显微镜[J].计量学报,1985(2). |
| 作者姓名： | 方毓文 魏和荣 王高钟 李仿燕 刘祥文 梁炳沛 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 (方毓文，魏和荣)，昆明机床厂 (王高钟，李仿燕)，云南省计量测试研究所 (刘祥文)，云南省计量测试研究所(梁炳沛) |
| 摘 要： | 本文介绍我们研制的高精度动态光电显微镜的工作原理、实验结果、技术性能及其特点。它采用了一种新的对准刻线的光电瞄准方法,瞄准刻线的单次对准精度为2σ≤±0.02μm。刻线移动(工作台运动)的速度可达5mm/s。 |
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