|
|||||
|
|
| 2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统 | |
| 引用本文： | 叶孝佑,高宏堂,邹邻丁,张晓,甘晓川,孙双花,常海涛,沈雪萍,陈黎云.2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统[J].计量学报,2010,31(Z2). |
| 作者姓名： | 叶孝佑 高宏堂 邹邻丁 张晓 甘晓川 孙双花 常海涛 沈雪萍 陈黎云 |
| 作者单位： | 1. 中国计量科学研究院,北京,100013 2. 浙江计量科学研究院,浙江,杭州,310013 3. 北京航空航天大学,北京,100191 |
| 摘 要： | 阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ). |
| 关 键 词： | 计量学 比长仪 动态校准 位移传感器 |
Auto Aiming System for Lines with Nanometer Accuracy of 2m Length Comparator |
|
| YE Xiao-you,GAO Hong-tang,ZOU Lin-ding,ZHANG Xiao,GAN Xiao-chuan,SUN Shuang-hua,CHANG Hai-tao,SHEN Xue-ping,CHEN Li-yun.Auto Aiming System for Lines with Nanometer Accuracy of 2m Length Comparator[J].Acta Metrologica Sinica,2010,31(Z2). | |
| Authors: | YE Xiao-you GAO Hong-tang ZOU Lin-ding ZHANG Xiao GAN Xiao-chuan SUN Shuang-hua CHANG Hai-tao SHEN Xue-ping CHEN Li-yun |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
