| 激光驻波透镜聚焦原子束制作超微细图形研究 |
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| 引用本文： | 陈元培,李展,陈旭南,陈献忠.激光驻波透镜聚焦原子束制作超微细图形研究[J].四川激光,2003,24(6):18-19. |
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| 作者姓名： | 陈元培 李展 陈旭南 陈献忠 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都610209
(陈元培，李展，陈旭南)，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都610209(陈献忠) |
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| 基金项目： | 中科院知识创新项目 (A2K0 0 0 9)，微细加工光学技术国家重点实验室开放基金项目 (KFS4) |
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| 摘 要： | 介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计，研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性，数值结果显示在原子束高度准直的情况下，原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为l0nm左右，可以实现纳米级超微细图形的制作。
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| 关 键 词： | 原子光学 光刻 原子束 驻波 透镜 激光准直技术 驻波聚焦沉积技术 超微细图形 微细加工 |
| 修稿时间： | 2003年5月21日 |
Study on making super micro-pattern by atom standing light wave lens |
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| Chen yuanpei,Li Zhan,Chen Xunan,Chen Xianzhong.Study on making super micro-pattern by atom standing light wave lens[J].Laser Journal,2003,24(6):18-19. |
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| Authors: | Chen yuanpei Li Zhan Chen Xunan Chen Xianzhong |
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| Abstract: | The basic principle and experimental system design for applying laser cooling and focused atomic beams technique to fabrication nano-patterns are introduced.The focusing properties of a standing wave(SW) lens for a well-collimated thermal atomic beam are studied through numerical simulation.The result shows that this type of SW.lens can be used for atomic nanofabrication(ANF).The FWHM of the focal line width deposited on the substrate at the focal plane of the thermal atomic beam is about 10 nm. |
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| Keywords: | atom optics atom lithography atomic beams standing wave lens |
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