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| 一种用于光学薄膜表面无损表征的原子力显微镜 | |
| 引用本文： | 谢志刚,张冬仙,章海军.一种用于光学薄膜表面无损表征的原子力显微镜[J].中国激光,2010,8(s1):111-872. |
| 作者姓名： | 谢志刚 张冬仙 章海军 |
| 作者单位： | 谢兴龙:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 朱健强:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 刘凤翘:高功率激光物理国家实验室,上海激光等离子体研究所,上海,201800 杨镜新:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 管富义:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 黄关龙:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 戴亚平:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 李美荣:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 薛绍林:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 高奇:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 薛志玲:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 邵敏:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 庄亦飞:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 韩爱妹:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 彭增云:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 张伟清:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 张明科:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 诸彩龙:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 林尊琪:高功率激光物理国家实验室,中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 郑志坚:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 丁永坤:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 陈家斌:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 王世绩:上海激光等离子体研究所,上海,201800 顾援:上海激光等离子体研究所,上海,201800 王伟:上海激光等离子体研究所,上海,201800 王瑞荣:上海激光等离子体研究所,上海,201800 吴江:上海激光等离子体研究所,上海,201800 |
| 基金项目： | 国家高技术惯性约束聚变主题(编号:2002AA842100)资助项目。 |
| 摘 要： | 研制了一种用于大面积光学薄膜表面无损表征的新型原子力显微镜(AFM)。利用开放式样品台及探头系统可检测大尺寸、大重量的样品。样品最大尺寸可达600 mm×1000 mm。利用X、Y方向上的步进电机可实现探头在大尺寸样品表面任意位置的定位。另外还设计了优化的光点跟踪光路以实现大范围扫描成像，在扫描范围和反馈范围增大的同时，保持了较高的精度。利用步进电机和扫描器配合扫描，可得到序列图像，通过序列图像的拼接可获得更大范围的扫描图像。本文中测试了三种大面积薄膜样品，实验结果表明，单幅扫描图像最大范围达20 μm×20 μm，同时保持高的横向及纵向分辨率。 |
| 关 键 词： | 大面积 光学薄膜 原子力显微镜 大扫描范围 无损表征 |
| 收稿时间： | 2003/8/27 |
A large-stage atomic force microscope for nondestructive characterization of optical thin films |
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| Abstract: | Nd∶doped-glass-based sub-picosecond laser system with the maximum peak power of greater than 20 tara watts and the energy on target surface of 16 J is accomplished by using the chirped laser pulse amplification technology. While the laser pulse is focused by an off-axis parabolic mirror, the power density on target surface of approximately 2×10 18 W/cm 2 is acquired. In the performed neutron experiment, a C 8D 8 plate target is placed on the focal spot of the off-axis parabolic mirror. The maximum neutron yield for a single shot reaches 2.4×10 4. Still some other related problems are discussed |
| Keywords: | 180 5810 120 6650 000 2170 |
