鞍形场小型离子枪的研究 |
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引用本文: | 华祉年,袁磊,龙志翘.鞍形场小型离子枪的研究[J].真空科学与技术学报,1986(6). |
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作者姓名: | 华祉年 袁磊 龙志翘 |
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作者单位: | 电子工业部北京真空电子技术研究所
(华祉年,袁磊),电子工业部北京真空电子技术研究所(龙志翘) |
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摘 要: | 基于鞍形静电场中带电粒子振荡器的原理,通过计算机辅助设计,制成了新型小离子枪(外径小于15mm,总长小于35mm)。在发射电流Ie=5mA时,离子源的灵敏度S=3.6×10~(-4)安·帕~(-1),测量了离子束的能量分散及束斑。
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