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基于PZT的微驱动定位控制方法的研究
引用本文:孙立宁,孙绍云,曲东升,王力,蔡鹤皋.基于PZT的微驱动定位控制方法的研究[J].压电与声光,2003,25(5):436-438.
作者姓名:孙立宁  孙绍云  曲东升  王力  蔡鹤皋
作者单位:哈尔滨工业大学,机器人研究所,哈尔滨,150001
基金项目:国家“八六三”基金(2001AAAA423110)
摘    要:介绍了基于PZT的一维微动工作台,采用平行板机构,对其进行了有限元分析设计。使用精密光栅进行位移闭环检测,采用模糊PI控制算法对系统进行控制,既具有模糊控制灵活而且适应性强的优点,又具有PI控制精度高的特点。实验证明了该方法的有效性。

关 键 词:平行板  PZT驱动  模糊控制
文章编号:1004-2474(2003)05-0436-03
修稿时间:2003年8月4日

Study on the Control of a Micro Drive Positioning System Based on PZT
SUN Li-ning,SUN Shao-yun,QU Dong-sheng,WANG Li,CAI He-gao.Study on the Control of a Micro Drive Positioning System Based on PZT[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2003,25(5):436-438.
Authors:SUN Li-ning  SUN Shao-yun  QU Dong-sheng  WANG Li  CAI He-gao
Abstract:In this paper, a one-dimension micro table is described. The table has a parallel board framework, and which has been analyzed by finite element method. Position close loop examination is performed by an exact grating. Fuzzy PI arithmetic is used in the controlling of the system. It has not only the advantages of agility and adaptivity of fuzzy control, but the characteristics of high accuracy of PI arithmetic. Efficiency of the method has been validated through the experiments.
Keywords:parallel board  PZT actuator  fuzzy control
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