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| 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 | |
| 引用本文： | 李晓天,齐向东,于海利,高键翔,冯树龙,巴音贺希格.基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正[J].光学精密工程,2014,22(8):2039. |
| 作者姓名： | 李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格 |
| 作者单位： | 李晓天:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 齐向东:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 于海利:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 高键翔:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 冯树龙:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 巴音贺希格:中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005)。 |
| 摘 要： | 考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首先,推导出了微定位工作台位移实时修正公式。接着,采用三路干涉仪实现了微定位工作台摆角测量及其主要成分分析。最后,进行了光栅刻线摆角放大和校正实验。结果显示,摆角放大和摆角校正实验已基本达到了预期的效果,对光栅宽度为10.4mm且刻线密度为600line/mm的光栅进行修正后,光栅刻线摆角比校正前降低了64%以上。这些结果表明:采用单压电执行器方法对光栅刻线摆角进行实时修正可有效降低光栅刻线摆角,提高光栅质量;该方法可应用于大面积机械刻划光栅刻线摆角的修正。 |
| 关 键 词： | 平面光栅 光栅刻线 摆角修正 衍射波前 压电执行器 |
| 收稿时间： | 2013/6/26 |
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator |
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| Abstract: | |
| Keywords: | plane grating grating line yaw-angle correction diffraction wavefront piezoelectric actuator |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
