| 静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作 |
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| 引用本文： | 胡放荣,马文英,汪为民.静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作[J].中国激光,2011(10). |
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| 作者姓名： | 胡放荣 马文英 汪为民 |
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| 作者单位： | 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院;成都信息工程学院通信工程学院;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 桂林电子科技大学博士科研启动基金(UF10029Y)资助课题 |
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| 摘 要： | 基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式,设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统(MEMS)变形镜(DM),并用ZygoNewView7300白光干涉仪对样片的静态特性和动态响应特性进行了测试。静态测试结果表明,器件在150 V电压下的最大形变量为0.667μm,相邻单元之间的交联值为9%,镜面位置重复性为10%。动态测试结果表明,器件对正弦驱动信号的响应时间小于30μs,响应曲线近似为一条余弦曲线,谐振频率为36 kHz。该变形镜可用于自由空间光通信、激光光束整形、波前畸变校正、投影显示、生物医学成像和人眼视差校正等重要领域。
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| 关 键 词： | 光学器件 微机电系统 变形镜 静电驱动 表面微加工 光束整形 |
Fabrication of Electrostatically Actuated MEMS Deformable Mirror with Continuous Surface |
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| Hu Fangrong Ma Wenying Wang Weimin.Fabrication of Electrostatically Actuated MEMS Deformable Mirror with Continuous Surface[J].Chinese Journal of Lasers,2011(10). |
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| Authors: | Hu Fangrong Ma Wenying Wang Weimin |
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| Affiliation: | Hu Fangrong1 Ma Wenying2 Wang Weimin3 (1Department of Electronic Engineering and Automation,Guilin University of Electronics and Technology,Guilin,Guangxi 541004,China 2College of Communication Engineering,Chengdu University of Information Technology,Chengdu,Sichuan 610225,China 3State Key Laboratory of Optical Technologies for Microfabrication,Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Sichuan 610209,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical devices microelectromechanical systems deformable mirror electrostatically actuated surface micromachining beam shaping |
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