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| 测探术技学光用能性的SMEM | |
| 引用本文： | 宋晓舒.测探术技学光用能性的SMEM[J].光机电信息,2004(3). |
| 作者姓名： | 宋晓舒 |
| 摘 要： | 一种基于光压和干涉的激励/探测方法可表征微电机械系统(MEMS)万向反射镜阵列的特性。这种全光技术除能精确地完成非接触式的工艺监控,也使远距离操作微光电机械系统成为可能。光MEMS是一种采取与大型光学元件相同方式进行光控制的微型器件,其在质量、体积、功耗等方面具有明显的优势。但由于各种机械力的作用并非随着尺寸的减小而呈线性比例变化,因此对MEMS的设计提出了新的挑战。AgereSystems公司生产的光开关是由在硅晶片上制作的直径为1mm的微反射镜阵列组成,然后与另一个芯片连接,这一芯片含有以静电方式驱动反射镜旋转的电极。… |
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