| 衍射光学元件制作技术及未来展望 |
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| 引用本文： | 任延同,付永启.衍射光学元件制作技术及未来展望[J].光学精密工程,1997,5(2):7-11. |
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| 作者姓名： | 任延同 付永启 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
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| 摘 要： | 回顾了衍射光学元件(DOE)制作技术的发展过程,介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。
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| 关 键 词： | 衍射光学元件 二元光学元件 制造工艺 |
| 收稿时间： | 1996-09-09 |
Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements |
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| Ren Yantong,Fu Yongqi.Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements[J].Optics and Precision Engineering,1997,5(2):7-11. |
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| Authors: | Ren Yantong Fu Yongqi |
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| Affiliation: | Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, 130022 |
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| Abstract: | Development process of fabrication technology for diffractive optical elements(DOE) is recalled in this paper.The fabrication technolgoy and its designing tendency in the future are introduced. |
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| Keywords: | Diffractive optical elements(DOE) Binary optical elements(BOE) Fabrication technology |
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