| PMMA薄膜的AFM纳米压痕实验研究 |
| |
| 引用本文： | 朱纪军,王静,赵冰,顾宁,沈浩瀛,朱健.PMMA薄膜的AFM纳米压痕实验研究[J].航空精密制造技术,2000,36(2):12-15. |
| |
| 作者姓名： | 朱纪军 王静 赵冰 顾宁 沈浩瀛 朱健 |
| |
| 作者单位： | 1. 东南大学分子与生物分子电子学开放实验室,南京 210096
2. 电子部半导体研究所,南京 210016 |
| |
| 基金项目： | 江苏省自然科学基金，BK99006， |
| |
| 摘 要： | 研究了采用商用的AFM对PMMA进行纳米压痕试验,测定PMMA的力曲线与压痕深度,探讨压痕形成机理和工艺参数的影响,为PMMA的实际应用提供了力学基础.
|
| 关 键 词： | 原子力显微镜(AFM) PMMA 显微硬度 |
| 文章编号： | 1003-5451(2000)02-0012-04 |
| 修稿时间： | 1999年10月18 |
Nano-level Indentation Hardness Test of PMMS Film with AFM |
| |
| Abstract: | Thenano-level indentation hardness test of the PMMA film with an AFM(Atomic Force Microscope)has been implemented.The measurements of force curve and indentation depth of the PMMA film,and the discussions on the indentation forming mechani and the influence of technological parameters have provided a mechanical basis for the application of PMMA films into practice. |
| |
| Keywords: | AFM PMMA microhardnessm |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
