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| 低阻高透率ZnO透明导电薄膜 | |
| 引用本文： | 黄毓虹,扬瑞清.低阻高透率ZnO透明导电薄膜[J].太阳能学报,1989,10(2):219-220. |
| 作者姓名： | 黄毓虹 扬瑞清 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 (黄毓虹，杨瑞清)，中国科学院上海硅酸盐研究所(罗维根) |
| 基金项目： | 中国科学院上海硅酸盐研究所青年科学基金3017资助 |
| 摘 要： | 近年来透明ZnO导电薄膜的优良电性,低廉的制造成本以及简便的制备方法受到了重视。在热镜和多层光热转换系统中,它作为太阳电池的一部分,在取代ITO薄膜等方面具有诱人的应用前景。本文报道了用射频磁控溅射技术及低温处理制备得到的低电阻率和高透明度的ZnO薄膜。 以掺杂3wt％Al_2O_3的氧化锌陶瓷为靶材,用射频磁控溅射技术制备ZnO薄膜。溅射工艺条件见表1。 |
| 关 键 词： | 导电薄膜 氧化锌 |
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