| 环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定 |
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| 引用本文： | 王孝坤,张学军.环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定[J].激光与光电子学进展,2009,46(1). |
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| 作者姓名： | 王孝坤 张学军 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新基金 |
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| 摘 要： | 利用环形子孔径拼接法,无需零位补偿就能够实现对大口径非球面的测量.但是用干涉仪直接测得的各子孔径的相位数据中包含非共光路误差,同时必须把各子孔径的CCD像素坐标统一归化到镜面上,才能够实现全口径的拼接.提出了一种用干涉仪MetroPro软件中的Fiducial功能模块标定坐标投影畸变的新方法,同时利用Zemax软件模拟非共光路误差,并利用编制的相位拟合软件对该误差进行Zernike多项式拟合,从而很好地实现了坐标统一,并使非共路误差从相位分布中剔出.结合实例对一口径为350 mm的非球面进行了拼接实验,并将拼接结果与零位补偿检测结果相对比,结果吻合,其PV值和RMS值的偏差分别为0.031 λ和0.005 λ(λ=0.6328μm).
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| 关 键 词： | 光学技术 环形子孔径拼接 非共光路误差 投影畸变 最小二乘拟合 |
Data Processing and Calibration for Testing Aspheric Surfaces by Annular Subaperture Stitching Interferometry |
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| Wang Xiaokun,Zhang Xuejun.Data Processing and Calibration for Testing Aspheric Surfaces by Annular Subaperture Stitching Interferometry[J].Laser & Optoelectronics Progress,2009,46(1). |
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| Authors: | Wang Xiaokun Zhang Xuejun |
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