| 基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计 |
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| 引用本文： | 王少阳,张瑞峰,孙晓伟,杨庆.基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计[J].电子测量技术,2014,37(12). |
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| 作者姓名： | 王少阳 张瑞峰 孙晓伟 杨庆 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院 天津 300072 |
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| 摘 要： | 基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统.在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机.结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动.计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz.实验证明这种方法行之有效.
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| 关 键 词： | MEMS 频闪显微干涉 FPGA 声光调制器 千兆网相机 |
A design of control system for the MEMS measurement based on FPGA |
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| Wang Shaoyang,Zhang Ruifeng,Sun Xiaowei,Yang Qing.A design of control system for the MEMS measurement based on FPGA[J].Electronic Measurement Technology,2014,37(12). |
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| Authors: | Wang Shaoyang Zhang Ruifeng Sun Xiaowei Yang Qing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS SIVS FPGA AOM Gigabit ethernet camera |
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