Insb 液相外延层内的两类层错 |
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引用本文: | 俞振中,马可军,金刚.Insb 液相外延层内的两类层错[J].半导体学报,1983(4). |
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作者姓名: | 俞振中 马可军 金刚 |
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作者单位: | 中国科学院上海技术物理研究所
(俞振中,马可军),中国科学院上海技术物理研究所(金刚) |
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摘 要: | 实验表明,IuSb液相外延层内存在着两类层错,即哑铃状层错与杆状层错.对两类层错的形态,结构与相互之间的作用进行了观察.分析表明,哑铃状层错为本征型层错,四周围以Shockley不全位错,而杆状层错很可能为非本征型层错.最后对层错的形成机制进行了讨论.
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