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| 集成电路的化学品供应系统探讨 | |
| 引用本文： | 朱海英.集成电路的化学品供应系统探讨[J].洁净与空调技术,2008(4). |
| 作者姓名： | 朱海英 |
| 作者单位： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 摘 要： | 集成电路的化学品供应系统为生产线提供高品质化学品，因芯片与化学品直接接触，化学品供应系统的稳定与否影响生产线的正常运行。集成电路的化学品供应系统分为酸碱、有机、研磨液等种类，有槽车和化学桶供应模式，由泵或氮气供应到使用点。主要从设计、安全对策、运行管理等方面探讨了集成电路的化学品供应系统。 |
| 关 键 词： | 集成电路 化学品供应系统 化学桶供应模式 安全运行 |
Probe of Chemical Supply System in IC |
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| Zhu Haiying.Probe of Chemical Supply System in IC[J].Contamination Control & Air-Conditioning Technology,2008(4). | |
| Authors: | Zhu Haiying |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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