|
|||||
|
|
| CVD金刚石膜抛光新技术 | |
| 引用本文： | 郭钟宁,王成勇,刘晓宁,匡同春.CVD金刚石膜抛光新技术[J].新技术新工艺,2001,1(6):41-43. |
| 作者姓名： | 郭钟宁 王成勇 刘晓宁 匡同春 |
| 作者单位： | 广东工业大学 510090 |
| 基金项目： | 本项目为国家自然科学基金、广东省自然科学基金项目 |
| 摘 要： | 提出了一种新的CVD金刚石膜抛光技术。金刚石膜表面被预先涂覆一层导电金属，然后采用电蚀方法对该表面进行加工，使金刚石膜突起的尖峰被迅速去除，加工中金刚石表面的石墨化使电蚀加工得以不断延续。采用CVD金刚石膜抛光新技术，可以高效率地完成对CVD金刚石膜的粗抛光。 |
| 关 键 词： | 金刚石膜 抛光 电蚀加工 CAD |
The New Technology of Polishing CVD Diamond Film |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
