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| ST 切型石英膜片的应力分析 | |
| 作者姓名： | 舒茂盛 王生楠 何鹏举 |
| 作者单位： | 西北工业大学,航空学院,西安,710072;西北工业大学,自动化学院,西安,710072 |
| 摘 要： | 通常石英膜片的应力分布是根据弹性力学薄板弯曲理论分析得到的,但所选模型及边界条件相对简单,不能满足实际工程的需要.文中的ST切型石英膜片的边界条件复杂,用弹性力学薄板弯曲理论是很难得出结果的,为此采用了有限元法对ST切型石英膜片进行应力分析,并根据其应力分布规律,得出合理安放SAW(表面波)谐振器的位置. |
| 关 键 词： | ST切型石英膜片 SAW压力传感器 应力分析 有限元法 |
| 文章编号： | 1005-9490(2005)02-0430-03 |
| 修稿时间： | 2004-09-27 |
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