YBCO高温超导靶材制备工艺研究 |
| |
引用本文: | 郭青蔚,李月南.YBCO高温超导靶材制备工艺研究[J].稀有金属,1994,18(3):194-198. |
| |
作者姓名: | 郭青蔚 李月南 |
| |
作者单位: | 北京有色金属研究总院 |
| |
摘 要: | 进行了用钇钡铜氧(YBCO)系高温超导粉制备磁控和激光溅射超导薄膜用靶材的工艺研究。对靶材原料粉末的质量要求和制靶工艺进行了探讨,对影响靶材质量进而影响膜材质量的主要因素(如成分、纯度、均匀性、粒度及超导电性等)进行了研究。多家超导薄膜研究单位对本工艺靶材的使用结果证明了材料的优良品质,采用本工艺研制的大直径环形靶制出的超导薄膜,Jc值均在10 ̄6A/cm ̄2水平。
|
关 键 词: | 超导靶材 制备 工艺 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|