| 四谱段TDICCD图像传感器的设计与制作 |
| |
| 引用本文： | 徐道润＊,刘业琦,袁安波,廖乃镘,曲鹏程,罗春林,张晓琴.四谱段TDICCD图像传感器的设计与制作[J].半导体光电,2022,43(3):547-551. |
| |
| 作者姓名： | 徐道润＊ 刘业琦 袁安波 廖乃镘 曲鹏程 罗春林 张晓琴 |
| |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所, 重庆 400060 |
| |
| 摘 要： | 设计并研制了一种四谱段时间延迟积分电荷耦合器件(TDICCD)图像传感器，器件将四个TDICCD集成在同一芯片上，通过在光窗对应位置上镀不同的窄带滤光膜实现多谱段分光。该TDICCD图像传感器的像元尺寸为28μm×28μm,水平寄存器的有效像元数为3 072元，行频为10 kHz,电荷转移效率高达0.999 99,饱和输出电压为2 650 mV,抗弥散能力大于等于100倍，动态范围为7 143∶1。
|
| 关 键 词： | 时间延迟积分 四谱段 电荷耦合器件 图像传感器 |
| 收稿时间： | 2022/2/26 0:00:00 |
Design and Fabrication of Four Spectral TDICCD Image Sensor |
| |
| XU Daorun,LIU Yeqi,YUAN Anbo,LIAO Naiman,QU Pengcheng,LUO Chunlin,ZHANG Xiaoqin.Design and Fabrication of Four Spectral TDICCD Image Sensor[J].Semiconductor Optoelectronics,2022,43(3):547-551. |
| |
| Authors: | XU Daorun LIU Yeqi YUAN Anbo LIAO Naiman QU Pengcheng LUO Chunlin ZHANG Xiaoqin |
| |
| Affiliation: | Chongqing Optoelectronics Research Institute, Chongqing 400060, CHN |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | time delay integration four spectral CCD image sensor |
|
| 点击此处可从《半导体光电》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体光电》下载全文 |
|
