非He气态检漏工质漏率转化为He标准漏率的可行性

以纯He、及一定浓度He、Xe、SF_6与N_2的混合气体示漏,研究了将浓度检漏法获得的非氦示漏气体漏率转化为He标准漏率的可行性。研究结果表明,对于纯粘滞流和纯分子流,依据现有的理论,通过粘滞系数、压力、温度、分子质量等参数的校正,可以进行不同示漏气体间漏率的转换。但由于He分子直径小,与其它示漏气体分子显著不同,即便在相同漏孔、相同压力条件,其流动状态也可能存在差异,进而影响计算结果的准确性。对于过渡流,由于其流动状态的复杂性,可以按照分子流和粘滞流漏率转换方法界定漏孔He标准漏率的范围。对于粘滞流,相同压力条件下不同示漏气体漏率的差异主要由气体粘滞系数引起,采用混合气体示漏时各组分具有相同的泄漏速率;当漏孔中气流处于过渡流或分子流时,混合气体各组分会出现不同的泄漏速率,当气流为分子流状态时,各组分泄漏速率差异达到最大。