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| 两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计 | |
| 引用本文： | 李呈德,陈涛,左铁钏.两级复眼式准分子激光微加工均束器的设计[J].中国激光,1999,26(6):560-564. |
| 作者姓名： | 李呈德 陈涛 左铁钏 |
| 作者单位： | 北京工业大学国家产学研激光加工技术中心,北京,100022 |
| 摘 要： | 介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好，传输效率高，输出光束截面尺寸连续可调，而且为掩模投影式准分子激光微加工系统提供了恰当的照明数值孔径，是准分子激光进行微机械、微光学、微电子等微细加工的优良照明系统。 |
| 关 键 词： | 准分子激光，微加工，均束器，复眼 |
| 收稿时间： | 1997/12/15 |
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