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对超硬材料金刚石和β—C3N4薄膜的探索性研究
摘 要:
作为材料的重要性质之一,硬度一直受到人们广泛的重视和研究。Cohen和Liu利用第一性原理计算从理论上预言了一种超硬性能的新材料β—C3N4,其体积弹性模量超过金刚石。CVO3组采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),用高纯N2(99.999%)和CH4(99.9%)作反应气体,在单晶Si(100)和多晶Pt衬底上沉积碳氮薄膜,开展了对β-C3N4薄膜的制备与表征的探索性研究,取得了一定的进展。
关 键 词:
超硬材料
金刚石
β-C3N4薄膜
微波等离子体化学气相沉积法
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