| 微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究 |
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| 引用本文： | 刘奎,苑伟政,邓进军,马炳和,姜澄宇. 微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 202-204 |
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| 作者姓名： | 刘奎 苑伟政 邓进军 马炳和 姜澄宇 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(90305017);航空科学基金资助项目(04I53074,03I53066) |
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| 摘 要： | 应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.
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| 关 键 词： | 微型传感器 热敏元件 薄膜电阻 电阻温度系数 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0202-03 |
| 修稿时间： | 2005-03-20 |
Design Investigation on Micro Thermal Sensor Film Resistor |
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| Liu Kui,Yuan Weizheng,Deng Jinjun,Ma Binghe,Jiang Chengyu. Design Investigation on Micro Thermal Sensor Film Resistor[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 202-204 |
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| Authors: | Liu Kui Yuan Weizheng Deng Jinjun Ma Binghe Jiang Chengyu |
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