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| 钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响 | |
| 引用本文： | 赵齐,代明江,韦春贝,邱万奇.钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响[J].热加工工艺,2013,42(14). |
| 作者姓名： | 赵齐 代明江 韦春贝 邱万奇 |
| 作者单位： | 1. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广东广州510651;华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640 2. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广东广州,510651 3. 华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州,510640 |
| 摘 要： | 以紫铜为基体,采用热丝CVD法合成金刚石薄膜,研究了钛过渡层及研磨金刚石粉(俗称“种植晶仔”)预处理对金刚石薄膜生长状态的影响.用X射线(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)对所沉积的金刚石薄膜进行了研究.研究发现:活性钛金属过渡层有利于金刚石的形核,而且也提高了成膜质量；“种植晶仔”预处理有利于金刚石形核,而且减少了非晶碳的形成. |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 热丝CVD 钛过渡层 研磨预处理 |
Effects of Titanium Interlayer and Grinding Pretreatment on Quality of Diamond Film |
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| ZHAO Qi , DAI Mingjiang , WEI Chunbei , QIU Wanqi.Effects of Titanium Interlayer and Grinding Pretreatment on Quality of Diamond Film[J].Hot Working Technology,2013,42(14). | |
| Authors: | ZHAO Qi DAI Mingjiang WEI Chunbei QIU Wanqi |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond films hot filament chemical vapor deposition buffer layer of titanium abrading pretreatment |
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