| RF磁控溅射制备N掺杂Cu2O薄膜及光学特性研究 |
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| 引用本文： | 自兴发,杨雯,杨培志,段良飞,张力元.RF磁控溅射制备N掺杂Cu2O薄膜及光学特性研究[J].光电子．激光,2014(9):1727-1731. |
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| 作者姓名： | 自兴发 杨雯 杨培志 段良飞 张力元 |
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| 作者单位： | 云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092 ;楚雄师范学院 材料制备与力学行为研究所,云南 楚雄 675000;云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092;云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092;云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092;云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金联合资助基金(U1037604)资助项目 (1.云南师范大学 太阳能研究所,可再生能源材料先进技术及制备教育部重点实验室,云南 昆明 650092； 2.楚雄师范学院 材料制备与力学行为研究所,云南 楚雄 675000) |
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| 摘 要： | 利用射频(RF)磁控溅射沉积技术,采用Cu2O陶瓷靶作为溅射靶,在N2和Ar气的混合气氛下制备了Cu2O薄膜。通过改变衬底温度和N2流量,研究了RF磁控溅射沉积法对Cu2O薄膜的生长行为、物相结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明,衬底温度为300℃时,低N2流量(12sccm)下沉积的薄膜结构为Cu2O和CuO的混合相,N2流量增大至12sccm时薄膜结构转变为单相的Cu2O;不同N2流量下制备的薄膜均呈现三维的结核生长模式,其表面粗糙度的均方根(RMS)值依赖于N2流量,低N2流量下薄膜表面粗糙度的RMS值随N2流量的增大而增大,高N2流量下,RMS值随N2流量的增大而减小,并在一定N2流量范围内趋于稳定;不同N2流量下制备的薄膜均在475nm附近出现发光峰,峰的相对强度随N2流量的增加而减弱,峰位随N2流量的增加出现蓝移,薄膜的光学带隙Eg约为(2.61±0.03)eV。
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| 关 键 词： | CuO薄膜 N流量 衬底温度 光致发光(PL)谱 |
| 收稿时间： | 2014/5/26 0:00:00 |
Fabrication and optical properties of N-doped Cu2O thin films deposited by RF magnetron sputtering |
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| ZI Xing-f,YANG Wen,YANG Peng-zhi,DUANG Liang-fei and ZHANG Li-yuan.Fabrication and optical properties of N-doped Cu2O thin films deposited by RF magnetron sputtering[J].Journal of Optoelectronics·laser,2014(9):1727-1731. |
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| Authors: | ZI Xing-f YANG Wen YANG Peng-zhi DUANG Liang-fei and ZHANG Li-yuan |
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| Affiliation: | Key Laboratory on Renewable Energy Materials Advanced Technology and Manufac turing of Ministry of Education of China,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Yu nnan 650092,China ;Research Institute of Material Preparation and Mechanical Behavior,Chuxiong Normal University,Chuxiong 675000,China;Key Laboratory on Renewable Energy Materials Advanced Technology and Manufac turing of Ministry of Education of China,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Yu nnan 650092,China;Key Laboratory on Renewable Energy Materials Advanced Technology and Manufac turing of Ministry of Education of China,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Yu nnan 650092,China;Key Laboratory on Renewable Energy Materials Advanced Technology and Manufac turing of Ministry of Education of China,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Yu nnan 650092,China;Key Laboratory on Renewable Energy Materials Advanced Technology and Manufac turing of Ministry of Education of China,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Yu nnan 650092,China |
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