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| 一种新型静电驱动的单轴扭转微镜 | |
| 引用本文： | 王丛舜,熊春阳,杨振川,张大成,方竞.一种新型静电驱动的单轴扭转微镜[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 王丛舜 熊春阳 杨振川 张大成 方竞 |
| 摘 要： | 基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值.本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成.由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下,发生一定角度的扭转.测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节,经过改进后可望进一步改善微镜的性能. |
| 关 键 词： | 微镜 梳齿驱动器 体硅工艺 扭转 |
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