智能化接触式干涉仪

本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法，即用ＣＣＤ作为光电转换接收器，代替人眼工作，用单片机自动处理信号，代替手工处理，并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失，反而略有提高。