| 用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质 |
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| 引用本文： | 孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚.用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质[J].材料研究学报,2003,17(2):180-185. |
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| 作者姓名： | 孙克 赵岩 沈文锋 张彩碚 |
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| 作者单位： | 1. 东北大学
2. 中国科学院金属研究所 |
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| 基金项目： | 国家研究发展基金，G2000067205-4， |
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| 摘 要： | 用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜,研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响.TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径约为10 nm.用激光烧结法制备的SnO2薄膜对浓度为1.80×10-4丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO2薄膜的灵敏度.激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度.
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| 关 键 词： | 无机非金属材料 Sn02薄膜 激光烧结 灵敏度 气敏特性 丙酮 气敏传感器 二氧化硅 半导体薄膜 |
| 文章编号： | 1005-3093(2003)02-0180-06 |
| 修稿时间： | 2002年6月20日 |
Gas sensing properties of SnO2 films sintered by laser |
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| SUN Ke ZHAO Yan SHEN Wenfeng ZHANG Caibei.Gas sensing properties of SnO2 films sintered by laser[J].Chinese Journal of Materials Research,2003,17(2):180-185. |
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| Authors: | SUN Ke ZHAO Yan SHEN Wenfeng ZHANG Caibei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inorganic non-metallic materials SnO2 film laser sintering sensitivity gas sensing properties acetone |
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