基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计 |
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引用本文: | 杜艺鑫,金丽,解琨阳,吴倩楠,李孟委.基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计[J].微纳电子技术,2024(4):104-110. |
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作者姓名: | 杜艺鑫 金丽 解琨阳 吴倩楠 李孟委 |
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作者单位: | 1. 中北大学仪器与电子学院;2. 中北大学前沿交叉科学研究院;3. 中北大学创新创业学院;4. 半导体与物理学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(62005253); |
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摘 要: | 对一种基于单质量块微纳光栅泰伯效应双轴微光机电系统(MOEMS)加速度计进行了设计、加工与测试。利用有限元分析和时域有限差分法分别对双轴加速度计的敏感结构和光栅参数进行仿真优化。在保证加速度计高集成度的同时,为了实现双轴加速度的高精度测量,采用不同周期的两组光栅进行双轴加速度检测,通过磁控溅射工艺将两组光栅结构沉积在质量块的不同区域,最终通过阳极键合方式实现该双轴MOEMS加速度计的制备。实验结果表明,光栅泰伯效应双轴MOEMS加速度计x轴与y轴的灵敏度分别为3.36和3.54 V/g,零偏稳定性分别为25.53和20.91μg@1 s。该研究为实现高精度多轴加速度计提供了一种新的方法。
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关 键 词: | 微光机电系统(MOEMS) 双轴MOEMS加速度计 泰伯效应 微纳光栅 阳极键合 |
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