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基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器
引用本文:刘小康,李昌伟,彭凯,于治成,冯济琴.基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器[J].仪器仪表学报,2019,40(11):23-31.
作者姓名:刘小康  李昌伟  彭凯  于治成  冯济琴
作者单位:重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054
基金项目:国家自然科学基金(51935004,51435002)、重庆市教委高校创新团队项目(CXTDX201601029)资助
摘    要:提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础,将单对极与多对极相结合,整周多对极作为精确测量部分实现高精度,整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构,粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极,因此结构更加紧凑,便于小型化,同时动子无需引线,应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号,并把不工作的电极接地,可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰,保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60 mm,内径Φ=26 mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化,最终实验结果表明传感器的测量精度达到了±12″。

关 键 词:分时复用结构  反射式  绝对式  时栅  角位移传感器

High precision absolute time grating angular displacement sensor using time division multiplex access scheme with reflective electrode structure
Liu Xiaokang,Li Changwei,Peng Kai,Yu Zhicheng,Feng Jiqin.High precision absolute time grating angular displacement sensor using time division multiplex access scheme with reflective electrode structure[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2019,40(11):23-31.
Authors:Liu Xiaokang  Li Changwei  Peng Kai  Yu Zhicheng  Feng Jiqin
Affiliation:Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment, Ministry of Education, Chongqing University of Technology, Chongqing 400054, China
Abstract:
Keywords:time division multiplexing structure  reflective type  absolute type  time grating  angular displacement sensor
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