| 真空微电子学的研究与发展 |
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| 引用本文： | 黄庆安.真空微电子学的研究与发展[J].电子学报,1995,23(10):134-138,133. |
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| 作者姓名： | 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子中心 |
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| 摘 要： | 本文系统介绍了近年来真空微电子不的研究内容，达到的水平和亟待解决的问题，包括真空微电子器件的基本结构，场发射列，微尖结构物理，新材料和新器的探索以及真空微电子学的主要应用。
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| 关 键 词： | 真空微电子学 场发射 场发射阵列 平板显示 |
Research and Development of Vacuum Microelectronics |
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| Huang Qiangan.Research and Development of Vacuum Microelectronics[J].Acta Electronica Sinica,1995,23(10):134-138,133. |
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| Authors: | Huang Qiangan |
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| Abstract: | The research fields,current level and problems of vacuum microelectronics are presented,including basic structures of vacuum microdevices, field emission array, physics of microtip,new materials,new principles of vacuum microelectronics and main applications. |
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| Keywords: | Vacuum microelectronics Field emission New material Field emission array Field emission display Microwave device |
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