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| 功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响 | |
| 引用本文： | 贾毅,刘刚,武晓峰,岳仁亮,陈运法.功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响[J].稀有金属材料与工程,2013(Z1):64-67. |
| 作者姓名： | 贾毅 刘刚 武晓峰 岳仁亮 陈运法 |
| 作者单位： | 中国科学院过程工程研究所 多相复杂系统国家重点实验室;中国科学院大学 |
| 基金项目： | 中国科学院重大科研装备项目(YZ200722);国家自然科学基金(NSFC)(51002154) |
| 摘 要： | 研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响。通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜。SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加。AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升。沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了表面形貌、结构的差异。本文初步探索了硼助剂对沉积膜形貌、结构及性能影响的机理。 |
| 关 键 词： | 火焰法沉积 硼化合物助剂 超疏水 纳米力学 |
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