| 微纳热压印真空装置研制 |
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| 引用本文： | 段亚杰,李经民,刘冲,王蕾.微纳热压印真空装置研制[J].机械设计与制造,2014(10). |
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| 作者姓名： | 段亚杰 李经民 刘冲 王蕾 |
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| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家863计划资助项目 |
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| 摘 要： | 在非真空环境中进行微纳压印,在模板和聚合物基底之间会形成气泡,降低微纳结构的转印质量,针对该问题,研制了一种微纳热压印真空装置。该装置包括:用于调整压头板位姿的球状自适应调整结构,以半导体热电致冷器为加热和致冷器件的温度控制装置,真空罩,密封系统。计算了热压印过程需要的加热和制冷功率,进行了升降温和保温性能实验、真空性能实验和应用实验,实验结果验证此装置整体性能良好,适用于微纳热压印。
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| 关 键 词： | 热压印 密封 热电致冷器 温度 真空 |
Development on Micro/Nano Hot Embossing Vacuum Machine |
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| DUAN Ya-jie,LI Jing-min,LIU Chong,WANG Lei.Development on Micro/Nano Hot Embossing Vacuum Machine[J].Machinery Design & Manufacture,2014(10). |
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| Authors: | DUAN Ya-jie LI Jing-min LIU Chong WANG Lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hot Embossing Seal Thermoelectric Cooler Temperature Vacuum |
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